PLUTO-160等离子体表面处理仪/清洗机产品特点：
• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性与可重复性
• 灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案，确保大批量处理的均匀性
• PLC与工控机提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现
• 系统稳定可靠，易于保养与维护
标准腔体电极为平行板电极结构，通过改变电极配置(RF电极、地电极、悬浮电极等)可以获得不同的工艺效果
最多支持扩展至8片电极
每对电极间为独立空间
批处理电极改变了标准的平行板电极结构
通过优化的电场和进气设计实现对magazi和boat等载具内产品的均匀处理。
PLUTO-160等离子体表面处理仪/清洗机应用：
• 表面清洁与活化
• 表面有机污染物与金属氧化物的去除
• 增强表面胶体流动性，消除涂层分层
• 提升表面能，实现难粘材料的有效结合
• 表面粗化及微刻蚀
• 纳米级表面粗化，应力释放
• 光刻胶、残胶的去除
• 对多种材料的选择性刻蚀
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